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光柵尺，精度最高

用光電開關(guān)或者光纖開關(guān)也可以的吧，有些光電開關(guān)可以檢測(cè)距離，設(shè)定動(dòng)作區(qū)間，應(yīng)該幾千就能搞定吧
只是長期使用，穩(wěn)定性不知道咋樣，還有就是檢測(cè)面光潔程度的影響，0.5mm的精度應(yīng)該問題不大
只是直接測(cè)100和100.5精度不高，能否靠近些，測(cè)5和5.5mm,當(dāng)然再大點(diǎn)也可以，但是相對(duì)精度就要差一些

現(xiàn)在初步?jīng)Q定用基恩士的激光傳感器，距離可調(diào)，對(duì)反射面的顏色不敏感。