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三菱PLC驅動安川伺服電機抖動，怎么解決？

我用的是三菱FX3U+1PG+觸摸屏控制安川伺服電機，將電機取下后，用觸摸屏給出單速定位指令后，無明顯抖動，當裝上機器上后再運行，機器就開始抖動，就像是有PLC輸出的脈沖不連續一樣，原本應是勻速運轉的機器，一直在轉動過程中抖動。
但如果不用PLC控制，而是直接用安川伺服驅動器自帶的JOG運行（點動），除了啟動或停止瞬間由于無加減速引起的震動外，其他時間運行平穩。
有高手知道是怎么回事嗎？麻煩幫我給點意見，多謝

以前我做過一個實驗，同樣的PLC和指令，同樣用出廠默認參數，都是750W低慣量。
伺服電機就平放著在桌子上，速度是1秒2圈，就只轉2秒共4圈。
三菱KFS73的不抖動，很平穩，安川的抖動很明顯。

據說調節一些伺服上的參數可以讓抖動減少，但估計和電機本身質量有一定關系。